基于化学刻蚀一体式石英圆柱壳体谐振子修形系统及方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201610283854.4
申请日
2016-05-03
公开(公告)号
CN105865430B
公开(公告)日
2016-08-17
发明(设计)人
曲天良 王妍妍 潘瑶 王东亚 王凯 吴云晓 吴素勇 胡绍民
申请人
申请人地址
410073 湖南省长沙市开福区德雅路109号
IPC主分类号
G01C195663
IPC分类号
代理机构
长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113
代理人
马强
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 21 条
[1]
基于一体式圆柱壳体石英谐振子和压电薄膜的振动陀螺 [P]. 
曲天良 ;
潘瑶 ;
罗晖 ;
杨开勇 ;
刘贱平 ;
吴素勇 ;
樊振方 ;
王东亚 .
中国专利 :CN105547271A ,2016-05-04
[2]
基于化学蒸气的半球谐振子修形系统及修形方法 [P]. 
曲天良 ;
汪玉婷 ;
陶云峰 ;
潘瑶 ;
贾永雷 .
中国专利 :CN109655050B ,2019-04-19
[3]
一种圆柱壳体振动陀螺谐振子频率裂解方法及系统 [P]. 
席翔 ;
吴学忠 ;
吴宇列 ;
肖定邦 ;
吴小梅 ;
孙江坤 .
中国专利 :CN109084741A ,2018-12-25
[4]
一种石英圆柱谐振子第二次谐波误差的化学修调方法 [P]. 
潘瑶 ;
陶云峰 ;
贾永雷 ;
谭中奇 ;
金世龙 ;
杨开勇 ;
罗晖 .
中国专利 :CN111504292A ,2020-08-07
[5]
基于附加电荷的石英圆柱谐振子精密平衡方法 [P]. 
陶云峰 ;
潘瑶 ;
曾黎斌 ;
谭中奇 ;
杨开勇 ;
罗晖 .
中国专利 :CN114184185B ,2022-03-15
[6]
一种圆柱壳体陀螺谐振子不平衡质量的确定方法及系统 [P]. 
吴宇列 ;
吴学忠 ;
肖定邦 ;
席翔 ;
张勇猛 ;
曲洛振 .
中国专利 :CN108844555B ,2018-11-20
[7]
一种用于谐振子化学刻蚀的机构及自动化化学刻蚀设备 [P]. 
贾永雷 ;
邓楷昕 ;
潘瑶 ;
吴伟 ;
谭中奇 ;
杨开勇 ;
罗晖 .
中国专利 :CN117416924A ,2024-01-19
[8]
一种筛选圆柱壳体振动陀螺谐振子的方法和装置 [P]. 
吴宇列 ;
吴学忠 ;
席翔 ;
孙江坤 ;
张勇猛 ;
曲洛振 .
中国专利 :CN107843269A ,2018-03-27
[9]
圆柱壳体陀螺谐振子品质因数不均匀的修调方法和装置 [P]. 
吴宇列 ;
吴学忠 ;
席翔 ;
孙江坤 ;
张勇猛 ;
曲洛振 .
中国专利 :CN108507556A ,2018-09-07
[10]
一种基于低能离子束溅射的半球谐振子修形方法 [P]. 
杜春阳 ;
戴一帆 ;
陈善勇 ;
刘俊峰 ;
彭小强 ;
关朝亮 ;
胡皓 .
中国专利 :CN115533626A ,2022-12-30