一种基于光散射的晶圆表面颗粒缺陷的散射场计算方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911165226.6

申请日：

2019-11-25

公开(公告)号：

CN110990754A

公开(公告)日：

2020-04-10

发明(设计)人：

廖程许爽李公法刘超马如意廖尚春

申请人：

申请人地址：

430081 湖北省武汉市青山区和平大道947号

IPC主分类号：

G06F1710

IPC分类号：

代理机构：

武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222

代理人：

魏波

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-10	公开	公开
2020-05-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G06F 17/10 申请日:20191125

共 50 条

[1]

一种基于光散射的晶圆表面颗粒缺陷的散射场计算方法 [P].

廖程 ;

许爽 ;

李公法 ;

刘超 ;

马如意 ;

廖尚春 .

中国专利 :CN110990754B ,2024-03-22

[2]

一种电大尺寸散射体散射场计算方法 [P].

李冰 ;

李尧尧 ;

郑建东 .

中国专利 :CN120974563A ,2025-11-18

[3]

一种单程波散射场计算方法 [P].

孟祥羽 ;

李庆洋 ;

国运东 ;

曹茸 ;

余海波 ;

何维 .

中国专利 :CN120577868A ,2025-09-02

[4]

一种基于多角度散射的光场表面缺陷识别系统及方法 [P].

张健 ;

孙昊 ;

孙景睿 ;

赵斌 ;

史浩东 ;

杨松洲 ;

张宇 ;

刘轩 ;

张柱年 .

中国专利 :CN121120579A ,2025-12-12

[5]

一种稀疏散射缺陷的标准晶圆片的制造方法 [P].

李伟 ;

黄鹭 ;

王雪深 ;

贾鑫 ;

陈建 .

中国专利 :CN119618772A ,2025-03-14

[6]

一种检测表面缺陷的散射光高效收集装置 [P].

董敬涛 ;

钱章尧 ;

陈坚 ;

吴周令 .

中国专利 :CN206348280U ,2017-07-21

[7]

弱散射纳米颗粒的外差动态光散射测量系统及方法 [P].

韩鹏 ;

彭艺 ;

邱健 ;

彭力 ;

骆开庆 ;

刘冬梅 .

中国专利 :CN114577680A ,2022-06-03

[8]

一种基于激光散射的表面微缺陷检测装置 [P].

陆惠宗 .

中国专利 :CN202453298U ,2012-09-26

[9]

一种基于像素化投影的物理光学散射场计算方法 [P].

李冰 ;

李尧尧 ;

郑建东 .

中国专利 :CN120974564A ,2025-11-18

[10]

一种基于像素化投影的物理光学散射场计算方法 [P].

李冰 ;

李尧尧 ;

郑建东 .

中国专利 :CN120974564B ,2025-12-26

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