一种垂向支撑组件、垂向支撑装置以及光刻机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911423910.X

申请日：

2019-12-31

公开(公告)号：

CN113126444B

公开(公告)日：

2021-07-16

发明(设计)人：

程国苗胡玉龙申楠楠董浩李新振

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

王宏婧

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20191231
2021-07-16	公开	公开
2021-12-31	授权	授权

共 50 条

[1]

垂向测量装置、垂向测量方法及光刻机 [P].

蓝科 ;

陈彩莲 ;

王易因 ;

刘逍 ;

赖勇 ;

李煜芝 ;

程建瑞 .

中国专利 :CN117192917B ,2024-12-31

[2]

垂向微调及重力补偿装置与光刻机 [P].

王天明 ;

袁志扬 ;

蔡良斌 ;

严天宏 ;

李志龙 .

中国专利 :CN101082775A ,2007-12-05

[3]

车钩弹簧垂向支撑装置 [P].

陈凯 ;

刘辉 ;

赵海 .

中国专利 :CN105083318B ,2015-11-25

[4]

光刻机的垂向控制装置及方法 [P].

王献英 ;

毛方林 ;

段立峰 .

中国专利 :CN102566287B ,2012-07-11

[5]

一种光刻机垂向控制参数校准方法 [P].

陈南曙 .

中国专利 :CN104977809B ,2015-10-14

[6]

一种用于光刻机的垂向控制方法 [P].

陈丹 ;

王献英 ;

杨志勇 .

中国专利 :CN107966880A ,2018-04-27

[7]

一种光刻机垂向微动结构和控制方法 [P].

赵娟 ;

张霖 ;

夏海 ;

陈明 .

中国专利 :CN107783378B ,2018-03-09

[8]

密接式车钩垂向支撑装置的支撑单元 [P].

田国明 ;

胡小山 .

中国专利 :CN201890238U ,2011-07-06

[9]

一种光刻机垂向距离测量装置及测量方法 [P].

王天明 .

中国专利 :CN103969957A ,2014-08-06

[10]

一种B型燃料舱垂向支撑装置 [P].

沈强昇 ;

张鹏 ;

龚爱军 ;

左奇 ;

王立平 .

中国专利 :CN117184358B ,2025-02-07

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