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一种硅片高效稳定搬运装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202122216724.8
申请日：
2021-09-14
公开(公告)号：
CN216104212U
公开(公告)日：
2022-03-22
发明(设计)人：
谢立平
林锐
李唐
申请人：
申请人地址：
215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇环庆路2980号中节能产业园二期47栋
IPC主分类号：
B65G1558
IPC分类号：
B65G4722
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-22 | 授权 | 授权 |