工件表面处理系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810125915.X

申请日：

2008-06-05

公开(公告)号：

CN101319345B

公开(公告)日：

2008-12-10

发明(设计)人：

杉浦裕滨田良介植村哲朗中田英树

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

C25D1900

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

方晓虹

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-12-10	公开	公开
2011-07-27	授权	授权
2010-02-10	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

工件表面处理系统 [P].

杉浦裕 ;

滨田良介 ;

植村哲朗 ;

中田英树 .

中国专利 :CN102127797B ,2011-07-20

[2]

工件表面处理系统的工件回收装置 [P].

杉浦裕 ;

滨田良介 ;

植村哲朗 ;

中田英树 .

中国专利 :CN102127796B ,2011-07-20

[3]

表面处理系统 [P].

饶猛 .

中国专利 :CN208402228U ,2019-01-18

[4]

表面处理系统 [P].

饶猛 ;

肖阳 .

中国专利 :CN208338036U ,2019-01-04

[5]

表面处理系统 [P].

饶猛 ;

肖阳 .

中国专利 :CN108668448A ,2018-10-16

[6]

表面处理系统 [P].

饶猛 .

中国专利 :CN108882535A ,2018-11-23

[7]

晶圆表面处理系统 [P].

温子瑛 .

中国专利 :CN103367197A ,2013-10-23

[8]

一种工件表面处理系统 [P].

刘宣勇 ;

钱仕 ;

蔡丁森 ;

郑立 ;

马小涵 .

中国专利 :CN212983055U ,2021-04-16

[9]

一种表面处理装置和表面处理系统 [P].

赵俊利 ;

胡送桥 ;

李佳蝶 .

中国专利 :CN111558492A ,2020-08-21

[10]

一种表面处理装置和表面处理系统 [P].

赵俊利 ;

胡送桥 ;

李佳蝶 .

中国专利 :CN212349259U ,2021-01-15

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