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湿法清洗设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN200920213424.0
申请日：
2009-12-15
公开(公告)号：
CN201603713U
公开(公告)日：
2010-10-13
发明(设计)人：
朱建野
曾辉
杜亮
杨永刚
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江路18号
IPC主分类号：
B08B308
IPC分类号：
代理机构：
北京德琦知识产权代理有限公司 11018
代理人：
谢安昆;宋志强
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-01-07 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):B08B 3/08 申请日:20091215 授权公告日:20101013 |
| 2012-12-05 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101480555972 IPC(主分类):B08B 3/08 专利号:ZL2009202134240 变更事项:专利权人 变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号 变更后权利人:100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号 登记生效日:20121105 |
| 2010-10-13 | 授权 | 授权 |