一种三维微/纳结构的流体介电泳力扫描压印成形方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201110192995.2
申请日
2011-07-11
公开(公告)号
CN102279519B
公开(公告)日
2011-12-14
发明(设计)人
丁玉成 邵金友 刘红忠 李祥明 田洪淼 黎相孟
申请人
申请人地址
710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
IPC主分类号
G03F700
IPC分类号
代理机构
西安智大知识产权代理事务所 61215
代理人
贺建斌
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
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