一种基于TiON的压力传感器

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专利类型
实用新型
申请号
CN201521085909.8
申请日
2015-12-22
公开(公告)号
CN205300833U
公开(公告)日
2016-06-08
发明(设计)人
赵勇
申请人
申请人地址
518114 广东省深圳市龙岗区南湾街道下李朗社区平吉大道1号建昇大厦A608
IPC主分类号
G01L906
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
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共 50 条
[1]
一种压力传感器 [P]. 
史晓晶 ;
柳俊文 ;
胡引引 .
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[2]
一种压力传感器 [P]. 
焦祥锟 ;
王创 .
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[3]
一种压力传感器 [P]. 
廖磊 .
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[4]
一种压力传感器芯片和压力传感器 [P]. 
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[5]
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S·科尔本施拉格 ;
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[6]
纳米压力传感器 [P]. 
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杨彪 ;
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[7]
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张建中 ;
汪祖民 ;
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[8]
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[9]
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[10]
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