光刻胶剥离设备及其剥离方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810927275.8

申请日：

2018-08-15

公开(公告)号：

CN109254506A

公开(公告)日：

2019-01-22

发明(设计)人：

孟祥国李全波陆连

申请人：

申请人地址：

201315 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区康桥东路298号1幢1060室

IPC主分类号：

G03F742

IPC分类号：

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

焦天雷

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-15	授权	授权
2019-01-22	公开	公开
2019-02-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/42 申请日:20180815

共 50 条

[1]

光刻胶剥离方法 [P].

陆王佳 ;

翁赵怡 ;

陆晨鑫 ;

甘立云 ;

曹佳辉 ;

朱毅 ;

郑万钧 ;

朱一彬 .

中国专利 :CN119340202A ,2025-01-21

[2]

光刻胶剥离方法 [P].

孟祥国 ;

陆连 .

中国专利 :CN110854016A ,2020-02-28

[3]

光刻胶剥离液 [P].

侯军 ;

吕冬 .

中国专利 :CN101295144A ,2008-10-29

[4]

光刻胶剥离方法 [P].

施政宏 ;

杨国华 ;

侯翔彬 .

中国专利 :CN105321807A ,2016-02-10

[5]

一种光刻胶剥离系统及光刻胶剥离方法 [P].

郭昭 ;

李炳天 ;

王振 ;

邓治国 ;

任志明 ;

晏熙 ;

黄超 ;

刘杰 ;

郭荣波 ;

李显杰 .

中国专利 :CN111142342A ,2020-05-12

[6]

光刻胶剥离液组合物及光刻胶的剥离方法 [P].

许舜范 ;

金炳郁 ;

赵泰杓 ;

尹锡壹 ;

郑世桓 ;

张斗瑛 ;

朴善周 .

中国专利 :CN104781732A ,2015-07-15

[7]

光刻胶用剥离液和使用该剥离液的光刻胶剥离方法 [P].

横井滋 ;

肋屋和正 .

中国专利 :CN1403876A ,2003-03-19

[8]

光刻胶用剥离液和使用该剥离液的光刻胶剥离方法 [P].

肋屋和正 ;

横井滋 .

中国专利 :CN1224864C ,2003-07-09

[9]

光刻胶用剥离液和使用该剥离液的光刻胶剥离方法 [P].

横井滋 ;

胁屋和正 .

中国专利 :CN1244023C ,2003-03-12

[10]

光刻胶剥离液及剥离装置 [P].

任学超 .

中国专利 :CN111474832A ,2020-07-31

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