使用飞秒激光切割基板的方法和装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510079771.5

申请日：

2005-06-28

公开(公告)号：

CN100563904C

公开(公告)日：

2006-05-10

发明(设计)人：

朴正权

申请人：

申请人地址：

韩国首尔

IPC主分类号：

B23K2600

IPC分类号：

B23K2608 B23K2606

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司

代理人：

徐金国;梁挥

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-07-05	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-05-10	公开	公开
2009-12-02	授权	授权
2022-06-14	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B23K 26/00 申请日:20050628 授权公告日:20091202 终止日期:20210628

共 50 条

[1]

碳化硅的飞秒激光切割方法 [P].

窦菲 ;

门慧婕 ;

张新平 .

中国专利 :CN110549016B ,2019-12-10

[2]

一种飞秒激光切割装置 [P].

宁军 ;

殷晨光 ;

李哲峰 ;

薛海军 .

中国专利 :CN117564507B ,2024-04-05

[3]

一种飞秒激光切割装置 [P].

宁军 ;

殷晨光 ;

李哲峰 ;

薛海军 .

中国专利 :CN117564507A ,2024-02-20

[4]

一种飞秒激光切割玻璃的方法 [P].

刘超 ;

阚保春 ;

胡煜洲 ;

韩建军 ;

赵志永 .

中国专利 :CN106966580A ,2017-07-21

[5]

多脉冲飞秒激光切割药柱装置 [P].

马贤举 ;

高海贤 ;

宋力蒙 ;

邢东骏 .

中国专利 :CN119635016A ,2025-03-18

[6]

多脉冲飞秒激光切割药柱装置 [P].

马贤举 ;

高海贤 ;

宋力蒙 ;

邢东骏 .

中国专利 :CN119635016B ,2025-10-31

[7]

飞秒激光切割机 [P].

黎维山 .

中国专利 :CN306731280S ,2021-08-03

[8]

通过多光束飞秒激光来切割材料的方法和装置 [P].

K·米施奇克 ;

J·洛佩兹 ;

R·克林 ;

C·加沃-莱格尔 ;

G·迪沙托 ;

O·迪马提奥-考利尔 .

中国专利 :CN109789511B ,2019-05-21

[9]

岩土孔隙介质飞秒激光冷切割的方法 [P].

陈海洋 ;

汪稔 ;

李建国 ;

张家铭 .

中国专利 :CN1661354A ,2005-08-31

[10]

飞秒激光扫描功率调控装置和方法、飞秒激光加工系统 [P].

孙洪波 ;

于颜豪 ;

陈岐岱 ;

姜俊 .

中国专利 :CN104979748A ,2015-10-14

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