一种等离子反应器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220588184.4

申请日：

2012-11-08

公开(公告)号：

CN202873172U

公开(公告)日：

2013-04-10

发明(设计)人：

周旭升梁洁左涛涛

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

代理机构：

上海智信专利代理有限公司 31002

代理人：

王洁

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-25	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):H05H 1/46 申请日:20121108 授权公告日:20130410
2019-04-12	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H05H 1/46 变更事项:专利权人变更前:中微半导体设备（上海）有限公司变更后:中微半导体设备（上海）股份有限公司变更事项:地址变更前:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号变更后:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
2013-04-10	授权	授权
2017-09-05	专利权质押合同登记的生效、变更及注销	专利权质押合同登记的注销号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101758727455 IPC(主分类):H05H 1/46 授权公告日:20130410 申请日:20121108 专利号:ZL2012205881844 登记号:2009310000663 出质人:中微半导体设备(上海)有限公司质权人:国家开发银行股份有限公司解除日:20170809
2015-04-22	专利权质押合同登记的生效、变更及注销	专利权质押合同登记的生效号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101712122916 IPC(主分类):H05H 1/46 专利号:ZL2012205881844 登记号:2009310000663 登记生效日:20150202 出质人:中微半导体设备(上海)有限公司质权人:国家开发银行股份有限公司实用新型名称:一种等离子反应器申请日:20121108 授权公告日:20130410

共 50 条

[1]

等离子反应器 [P].

金庆云 ;

全光珉 ;

郑东勋 ;

沈祐粲 ;

丁永植 ;

李教胜 ;

孙成道 .

中国专利 :CN100522340C ,2006-01-25

[2]

等离子反应器 [P].

朴根周 ;

高诚庸 ;

蔡焕国 ;

金起铉 ;

李元默 .

中国专利 :CN101577216B ,2009-11-11

[3]

一种小型等离子反应器 [P].

陈德毅 .

中国专利 :CN217389078U ,2022-09-06

[4]

低温等离子反应器 [P].

黄毅 .

中国专利 :CN211297110U ,2020-08-18

[5]

一种等离子反应器 [P].

周旭升 ;

梁洁 .

中国专利 :CN103369810B ,2013-10-23

[6]

一种等离子反应器 [P].

欧阳亮 ;

陶铮 ;

倪图强 ;

松尾裕史 ;

尹志尧 .

中国专利 :CN102789949A ,2012-11-21

[7]

一种小型等离子反应器 [P].

陈德毅 .

中国专利 :CN114760745A ,2022-07-15

[8]

低温等离子反应器 [P].

黄毅 .

中国专利 :CN111182706A ,2020-05-19

[9]

一种等离子反应器及其处理方法 [P].

叶如彬 ;

黄智林 .

中国专利 :CN103811260B ,2014-05-21

[10]

微波等离子反应器 [P].

M·勒多伊乌 ;

J·R·史密斯 ;

A·J·西利 .

中国专利 :CN101243534B ,2008-08-13

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