一种掺杂碳纳米管的氧化硅阻变薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710764056.8

申请日：

2017-08-30

公开(公告)号：

CN107663633B

公开(公告)日：

2018-02-06

发明(设计)人：

李颖赵高扬刘晋成张虎

申请人：

申请人地址：

710048 陕西省西安市金花南路5号

IPC主分类号：

C23C1812

IPC分类号：

H01L4500

代理机构：

西安弘理专利事务所 61214

代理人：

李娜

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-27	授权	授权
2018-02-06	公开	公开
2018-03-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 18/12 申请日:20170830

共 50 条

[1]

一种抗大电压氧化硅阻变薄膜的制备方法 [P].

李颖 ;

赵高扬 ;

朱瑞 ;

张虎 .

中国专利 :CN107634139B ,2018-01-26

[2]

氧化硅复合硼掺杂碳纳米管薄膜及其制备方法和应用 [P].

侯峰 ;

王磊 .

中国专利 :CN113013387A ,2021-06-22

[3]

一种碳纳米管薄膜的制备方法 [P].

沙冰娟 .

中国专利 :CN107188158A ,2017-09-22

[4]

利用碳纳米管掺杂的PEDOT薄膜的制备方法 [P].

王秀宇 ;

齐志楠 ;

马佳君 .

中国专利 :CN110041540A ,2019-07-23

[5]

碳纳米管薄膜的制备方法 [P].

王鼎 ;

刘长洪 ;

范守善 .

中国专利 :CN101284662B ,2008-10-15

[6]

一种制备氮掺杂碳纳米管的方法 [P].

肖剑荣 ;

王宏哲 ;

程勇 ;

李新宇 ;

马家锋 ;

蒋爱华 .

中国专利 :CN105514397A ,2016-04-20

[7]

碳纳米管薄膜的制备方法 [P].

冯辰 ;

刘锴 ;

翟永超 ;

姜开利 ;

范守善 .

中国专利 :CN101597049B ,2009-12-09

[8]

制备碳纳米管薄膜的方法 [P].

韩杰 .

中国专利 :CN109809391A ,2019-05-28

[9]

碳纳米管薄膜的制备方法 [P].

刘长洪 ;

范守善 .

中国专利 :CN101314464A ,2008-12-03

[10]

制备碳纳米管薄膜的方法 [P].

许海涛 .

中国专利 :CN109913861A ,2019-06-21

← 1 2 3 4 5 →