一种光刻投影物镜及光刻机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811648523.1

申请日：

2018-12-30

公开(公告)号：

CN109375480A

公开(公告)日：

2019-02-22

发明(设计)人：

张羽安福平

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G02B1300

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

孟金喆

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20181230
2020-08-07	授权	授权
2019-02-22	公开	公开

共 50 条

[1]

一种光刻投影物镜及光刻机 [P].

侯宝路 ;

王彩红 ;

王进霞 .

中国专利 :CN112394474B ,2021-02-23

[2]

一种光刻投影物镜及光刻机 [P].

安福平 ;

储兆祥 .

中国专利 :CN111929806A ,2020-11-13

[3]

投影光刻物镜及光刻机 [P].

郭银章 .

中国专利 :CN115542676A ,2022-12-30

[4]

投影光刻物镜及光刻机 [P].

郭银章 .

中国专利 :CN115542675A ,2022-12-30

[5]

投影光刻物镜及光刻机 [P].

郭银章 .

中国专利 :CN115542676B ,2025-09-23

[6]

投影光刻物镜及光刻机 [P].

郭银章 .

中国专利 :CN115542675B ,2025-08-12

[7]

投影物镜及光刻机 [P].

侯宝路 ;

沈玲 ;

于迪迪 ;

王进霞 ;

李运锋 .

中国专利 :CN118859633A ,2024-10-29

[8]

投影光刻物镜及光刻机 [P].

郭银章 .

中国专利 :CN117369084A ,2024-01-09

[9]

曝光投影物镜及光刻机 [P].

侯宝路 ;

于迪迪 ;

王进霞 ;

李运锋 .

中国专利 :CN118859456A ,2024-10-29

[10]

大视场投影物镜及光刻机 [P].

安福平 ;

储兆祥 .

中国专利 :CN115524927A ,2022-12-27

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