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感光性树脂组合物
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN95192672.1
申请日：
1995-12-27
公开(公告)号：
CN1146247A
公开(公告)日：
1997-03-26
发明(设计)人：
田中真二
笹下胜利
尾重虎
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
G03F7035
IPC分类号：
G03F7033
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
邰红;杨丽琴
法律状态：
实质审查请求的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 1998-02-25 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |
| 2002-08-21 | 授权 | 授权 |
| 2009-02-25 | 专利权的终止(未缴年费专利权终止) | 专利权的终止(未缴年费专利权终止) |
| 1997-03-26 | 公开 | 公开 |