制备铌酸锂光波导的钛扩散方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN01140592.9

申请日：

2001-11-11

公开(公告)号：

CN1210587C

公开(公告)日：

2003-05-14

发明(设计)人：

蒲天春谭松李汉国曹宏斌蔡义智

申请人：

申请人地址：

518057广东省深圳市南山区科技园科发路1号

IPC主分类号：

G02B613

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-02-29	文件的公告送达	文件的公告送达号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101290527083 IPC(主分类):G02B 6/13 专利号:ZL011405929 专利申请号:011405929 收件人:华为技术有限公司文件名称:缴费通知书
2013-01-16	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101382118126 IPC(主分类):G02B 6/13 专利号:ZL011405929 申请日:20011111 授权公告日:20050713 终止日期:20111111
2002-04-10	实质审查的生效	实质审查的生效
2003-07-30	实质审查的生效	实质审查的生效
2003-05-14	公开	公开
2005-07-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种钛扩散铌酸锂光波导的制备方法 [P].

富松 ;

张洪波 ;

华勇 .

中国专利 :CN113805273A ,2021-12-17

[2]

一种钛扩散铌酸锂光波导的制备方法 [P].

富松 ;

张洪波 ;

华勇 .

中国专利 :CN113805273B ,2024-07-23

[3]

一种铌酸锂光波导及通过钛扩散和VTE制备近化学计量比铌酸锂光波导的方法 [P].

姜城 .

中国专利 :CN105093406A ,2015-11-25

[4]

一种薄膜铌酸锂光波导制备方法及薄膜铌酸锂光波导 [P].

孙兵兵 ;

陈娟 ;

杨晓丹 .

中国专利 :CN121232364A ,2025-12-30

[5]

铌酸锂光波导芯片 [P].

陈亦凡 ;

黄萌 .

中国专利 :CN211180281U ,2020-08-04

[6]

铌酸锂光波导芯片 [P].

陈亦凡 ;

黄萌 .

中国专利 :CN110568551A ,2019-12-13

[7]

悬空式铌酸锂光波导 [P].

姜潇潇 ;

司光远 ;

吕江涛 ;

谷琼婵 ;

马振鹤 ;

王凤文 .

中国专利 :CN103091774A ,2013-05-08

[8]

一种铌酸锂光波导的制备方法 [P].

孙军强 ;

周钰杰 ;

冯力群 .

中国专利 :CN102253451B ,2011-11-23

[9]

一种钛扩散制备铌镁酸铅钛酸铅光波导的方法 [P].

胡庆元 ;

杨瑞 ;

刘鑫 ;

庄永勇 ;

徐卓 ;

魏晓勇 .

中国专利 :CN113388892A ,2021-09-14

[10]

周期极化钛扩散近化学计量比铌酸锂条形波导及制备方法 [P].

华平壤 ;

陈朝夕 .

中国专利 :CN104536089A ,2015-04-22

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