一种硅片吸盘变间距组件

被引：0

申请号：

CN202122805308.1

申请日：

2021-11-16

公开(公告)号：

CN217009162U

公开(公告)日：

2022-07-19

发明(设计)人：

林佳继朱斌李亚康

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283

代理人：

董世博

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-19	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片分片吸盘组件 [P].

董晓清 ;

凌勇 .

中国专利 :CN207353222U ,2018-05-11

[2]

硅片分片吸盘组件 [P].

董晓清 ;

凌勇 .

中国专利 :CN207165537U ,2018-03-30

[3]

一种硅片分片吸盘组件 [P].

沈晓琪 ;

姚正辉 ;

张峥水 .

中国专利 :CN213184249U ,2021-05-11

[4]

一种硅片变间距切换机构 [P].

吴廷斌 ;

张学强 ;

张建伟 ;

罗银兵 ;

朱方松 .

中国专利 :CN214898365U ,2021-11-26

[5]

一种高精度微变间距吸盘装置 [P].

衣振洲 ;

金鹏 ;

姜启龙 ;

王宾 ;

丁军帅 .

中国专利 :CN214588793U ,2021-11-02

[6]

一种可调的微变间距吸盘装置 [P].

衣振洲 ;

金鹏 ;

李全普 ;

姜启龙 ;

张博 ;

邓田雨 ;

李韧 .

中国专利 :CN215815826U ,2022-02-11

[7]

一种硅片吸盘 [P].

吴廷斌 ;

张学强 ;

张建伟 ;

罗银兵 ;

梁齐辉 .

中国专利 :CN213415523U ,2021-06-11

[8]

一种插槽式吸盘组件 [P].

林佳继 ;

周欢 ;

时祥 .

中国专利 :CN217387118U ,2022-09-06

[9]

一种快插硅片吸盘机构 [P].

吴廷斌 ;

张学强 ;

张建伟 ;

罗银兵 ;

梁齐辉 .

中国专利 :CN214140597U ,2021-09-07

[10]

一种吸盘组件 [P].

吴青勤 .

中国专利 :CN204784118U ,2015-11-18

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