硅片清洗设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201922014310.X

申请日：

2019-11-20

公开(公告)号：

CN210628335U

公开(公告)日：

2020-05-26

发明(设计)人：

左国军成旭李雄朋任金枝

申请人：

申请人地址：

213133 江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L2167 F26B906 F26B2100 F26B2112 F26B2506

代理机构：

北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343

代理人：

汪海屏;刘潇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-26	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片清洗设备 [P].

左国军 ;

成旭 ;

李雄朋 ;

任金枝 .

中国专利 :CN110808313A ,2020-02-18

[2]

一种硅片清洗设备 [P].

左国军 ;

成旭 ;

李雄朋 ;

任金枝 .

中国专利 :CN211100448U ,2020-07-28

[3]

硅片清洗装置及硅片清洗设备 [P].

朱伟 ;

谢宇宽 ;

季建 .

中国专利 :CN221657290U ,2024-09-06

[4]

硅片清洗设备 [P].

刘成中 .

中国专利 :CN210200670U ,2020-03-27

[5]

硅片清洗设备 [P].

陈海燕 .

中国专利 :CN209119058U ,2019-07-16

[6]

硅片清洗设备 [P].

左国军 ;

成旭 ;

李雄朋 ;

任金枝 .

中国专利 :CN210628258U ,2020-05-26

[7]

一种硅片清洗设备 [P].

左国军 ;

成旭 ;

李雄朋 ;

任金枝 .

中国专利 :CN110788063A ,2020-02-14

[8]

电池硅片清洗设备 [P].

陈海燕 .

中国专利 :CN210443532U ,2020-05-01

[9]

电池硅片清洗设备 [P].

吴超 .

中国专利 :CN218424270U ,2023-02-03

[10]

硅片清洗设备及硅片清洗方法 [P].

袁松柏 .

中国专利 :CN117878026A ,2024-04-12

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