提纯三氯氢硅的方法及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010120663.2

申请日：

2020-02-26

公开(公告)号：

CN111252771A

公开(公告)日：

2020-06-09

发明(设计)人：

吴锋李明峰李福中韩秀娟王海豹

申请人：

申请人地址：

221004 江苏省徐州市经济技术开发区杨山路66号

IPC主分类号：

C01B33107

IPC分类号：

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

肖阳

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-09	公开	公开
2020-07-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C01B 33/107 申请日:20200226
2022-05-10	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):C01B 33/107 变更事项:申请人变更前:江苏鑫华半导体材料科技有限公司变更后:江苏鑫华半导体科技股份有限公司变更事项:地址变更前:221004 江苏省徐州市经济技术开发区杨山路66号变更后:221004 江苏省徐州市经济技术开发区杨山路66号

共 50 条

[1]

提纯三氯氢硅的系统 [P].

吴锋 ;

李明峰 ;

李福中 ;

韩秀娟 ;

王海豹 .

中国专利 :CN212740754U ,2021-03-19

[2]

提纯三氯氢硅的方法 [P].

刘见华 ;

赵雄 ;

万烨 ;

严大洲 ;

赵宇 ;

常欣 .

中国专利 :CN108892143A ,2018-11-27

[3]

提纯三氯氢硅的方法 [P].

刘见华 ;

万烨 ;

赵雄 ;

严大洲 ;

赵宇 ;

常欣 .

中国专利 :CN108946743A ,2018-12-07

[4]

提纯三氯氢硅的装置 [P].

刘见华 ;

万烨 ;

赵雄 ;

严大洲 ;

赵宇 ;

常欣 .

中国专利 :CN109179425A ,2019-01-11

[5]

提纯三氯氢硅的装置 [P].

刘见华 ;

万烨 ;

赵雄 ;

严大洲 ;

赵宇 ;

常欣 .

中国专利 :CN209242693U ,2019-08-13

[6]

提纯三氯氢硅的装置 [P].

刘见华 ;

赵雄 ;

万烨 ;

严大洲 ;

赵宇 ;

常欣 .

中国专利 :CN108946742A ,2018-12-07

[7]

提纯三氯氢硅的装置 [P].

刘见华 ;

赵雄 ;

万烨 ;

严大洲 ;

赵宇 ;

常欣 .

中国专利 :CN209242692U ,2019-08-13

[8]

提纯三氯氢硅的方法 [P].

姚国华 ;

张艳春 ;

李锋 ;

王洪光 ;

白竟超 ;

彭述才 .

中国专利 :CN104828827B ,2015-08-12

[9]

三氯氢硅的提纯方法 [P].

姜利霞 ;

严大洲 ;

杨永亮 ;

肖荣晖 ;

汤传斌 .

中国专利 :CN104071791A ,2014-10-01

[10]

三氯氢硅的提纯方法 [P].

姜利霞 ;

严大洲 ;

杨永亮 ;

肖荣晖 ;

汤传斌 .

中国专利 :CN104003402B ,2014-08-27

← 1 2 3 4 5 →