氢离子捕捉器、防硫酸铵系统、光刻系统及防硫酸铵方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010761593.9

申请日：

2020-07-31

公开(公告)号：

CN111929990B

公开(公告)日：

2020-11-13

发明(设计)人：

金成昱金帅炯梁贤石贺晓彬杨涛李俊峰王文武

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京辰权知识产权代理有限公司 11619

代理人：

刘广达

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-13	公开	公开
2020-12-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20200731
2023-02-07	授权	授权

共 50 条

[1]

硫酸铵干燥系统 [P].

邢召良 ;

金澎 ;

黄帆 ;

陈洪军 ;

刘法鑫 ;

刘峰 ;

周学坤 ;

李新波 ;

李扬 ;

夏兴家 ;

朱秀伟 .

中国专利 :CN203310203U ,2013-11-27

[2]

用晶状硫酸铵或粉状硫酸铵生产粒状硫酸铵的方法 [P].

黄进 ;

杨毅 ;

邱祖军 ;

饶轶晟 ;

梅通友 ;

张瑞 ;

赵邦杰 ;

张晓迁 ;

覃庆海 .

中国专利 :CN101648838B ,2010-02-17

[3]

硫酸铵溶液pH调节系统 [P].

汪朝武 ;

刘协强 ;

杨吉 ;

刘青 ;

杨志伟 .

中国专利 :CN221951190U ,2024-11-05

[4]

硫酸铵预稠器 [P].

陈国良 .

中国专利 :CN210251297U ,2020-04-07

[5]

硫酸铵分解法 [P].

张智新 .

中国专利 :CN1099723A ,1995-03-08

[6]

硫酸铵离心组件 [P].

王永福 ;

渠兵舰 ;

王锁 ;

窦金松 .

中国专利 :CN215655748U ,2022-01-28

[7]

硫酸铵造粒 [P].

彼得·巴尼克 ;

延斯·马蒂亚克 .

中国专利 :CN107531583A ,2018-01-02

[8]

硫酸铵生产设备 [P].

王伟男 ;

邹骏 ;

彭光文 ;

罗小华 ;

谭绍栋 ;

邓军生 ;

石继东 .

中国专利 :CN203781856U ,2014-08-20

[9]

硫酸铵下料装置 [P].

代润乾 ;

石彪彪 .

中国专利 :CN213325677U ,2021-06-01

[10]

硫酸铵制造工艺 [P].

王承信 ;

沈飞 ;

卢立明 ;

刘伟清 ;

周晓东 ;

杨其平 .

中国专利 :CN101284676A ,2008-10-15

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