全息光栅制作装置、曝光干涉条纹相位稳定装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610537325.2

申请日：

2016-07-08

公开(公告)号：

CN105954977B

公开(公告)日：

2016-09-21

发明(设计)人：

宋莹姜珊唐玉国巴音贺希格潘明忠李文昊

申请人：

申请人地址：

130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G02B518

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

王宝筠

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-10-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101683312528 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2016105373252 申请日:20160708
2016-09-21	公开	公开
2017-07-25	授权	授权

共 50 条

[1]

一种全息光栅曝光干涉条纹相位移动与锁定装置 [P].

宋莹 ;

巴音贺希格 ;

姜珊 ;

李文昊 ;

潘明忠 .

中国专利 :CN103698983A ,2014-04-02

[2]

制作体全息光栅的曝光装置 [P].

胡德骄 ;

张金瑶 ;

杜有成 .

中国专利 :CN222850764U ,2025-05-09

[3]

用控制装置稳定全息干涉条纹的方法及装置 [P].

李朝明 ;

吴建宏 ;

朱亚一 ;

居戬之 ;

胡祖元 ;

陈新荣 ;

刘全 ;

韦小茹 .

中国专利 :CN1845017A ,2006-10-11

[4]

采用外差式干涉条纹锁定控制的全息光栅曝光方法 [P].

宋莹 ;

巴音贺希格 ;

李文昊 ;

姜珊 ;

潘明忠 .

中国专利 :CN103698835A ,2014-04-02

[5]

一种条纹锁定式全息干涉光刻系统及条纹锁定方法 [P].

邹文龙 ;

蔡志坚 ;

李朝明 ;

陈新荣 ;

吴建宏 ;

刘全 .

中国专利 :CN109521655A ,2019-03-26

[6]

全息光栅制作光路的莫尔条纹调节方法 [P].

吴建宏 ;

李朝明 ;

张伟 ;

刘全 ;

陈新荣 ;

胡祖元 .

中国专利 :CN100470405C ,2006-10-11

[7]

一种全息干涉条纹相位和周期同步锁定的装置和方法 [P].

曹红超 ;

晋云霞 ;

邵建达 ;

赵成强 ;

张益彬 ;

王云坤 ;

韩昱行 ;

孔钒宇 .

中国专利 :CN120276086A ,2025-07-08

[8]

制作低频全息光栅的装置 [P].

田红梅 ;

滕坚 ;

杨伟斌 .

中国专利 :CN201425631Y ,2010-03-17

[9]

一种利用莫尔条纹调整全息光栅曝光光路中准直光的方法 [P].

唐玉国 ;

孔鹏 ;

李文昊 ;

巴音贺希格 ;

齐向东 .

中国专利 :CN102103269B ,2011-06-22

[10]

单幅载频干涉条纹相位提取方法及检测装置 [P].

周游 ;

刘世杰 ;

白云波 ;

陈惟肖 ;

王微微 .

中国专利 :CN104006765B ,2014-08-27

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