用于运行电容式MEMS传感器的方法和电容式MEMS传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080015710.5

申请日：

2020-01-20

公开(公告)号：

CN113454423A

公开(公告)日：

2021-09-28

发明(设计)人：

L·瓦利 A·维斯孔蒂 F·迪亚齐

申请人：

申请人地址：

德国斯图加特

IPC主分类号：

G01C195776

IPC分类号：

B81B700

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

郭毅

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01C 19/5776 申请日:20200120
2021-09-28	公开	公开

共 50 条

[1]

用于运行电容式MEMS传感器的方法和电容式MEMS传感器 [P].

L·瓦利 ;

A·维斯孔蒂 ;

F·迪亚齐 .

德国专利 :CN113454423B ,2024-06-25

[2]

电容式传感器和用于运行电容式传感器的方法 [P].

D·斯洛格斯纳特 ;

M·穆萨奇 ;

D·坦格雷迪 .

德国专利 :CN118843596A ,2024-10-25

[3]

运行器设备、电容式传感器和运行电容式传感器的方法 [P].

A·达蒂 ;

B·库尔曼 ;

J·J·G·D·阿罗 ;

M·哈塔斯 ;

T·巴尔斯林科 .

德国专利 :CN118049981A ,2024-05-17

[4]

电容式传感器电极、用于电容式传感器电极的制造方法和电容式传感器 [P].

伯恩特·赫尔坦 ;

斯特凡·希尔舍 ;

马库斯·科德 ;

弗洛里安·波尔 ;

托马斯·魏因格特纳 .

中国专利 :CN109716653A ,2019-05-03

[5]

电容式MEMS压力传感器 [P].

夏长奉 ;

周国平 ;

钱栋彪 .

中国专利 :CN104515640A ,2015-04-15

[6]

MEMS电容式压力传感器 [P].

威廉·弗雷德里克·亚德里亚内斯·贝什林 ;

马丁·古森思 ;

约瑟夫·托马斯·马丁内斯·范贝克 ;

皮特·杰勒德·斯蒂内肯 ;

奥拉夫·温尼克 .

中国专利 :CN103308239A ,2013-09-18

[7]

CMOS MEMS电容式湿度传感器 [P].

薛惠琼 ;

王玮冰 ;

田龙坤 .

中国专利 :CN103675042A ,2014-03-26

[8]

MEMS电容式压力传感器 [P].

朱继东 ;

张仁富 .

中国专利 :CN108663141A ,2018-10-16

[9]

电容式传感器、用于读取电容式传感器阵的方法和用于制造电容式传感器阵的方法 [P].

U·贝克斯 .

中国专利 :CN104303136A ,2015-01-21

[10]

电容式传感器 [P].

V.哈特曼 ;

V.艾森哈特 ;

N.文策尔 ;

D.舒普 ;

F.格斯莱因 ;

J.弗兰根 .

中国专利 :CN106716838A ,2017-05-24

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