一种大面积小尺寸核壳结构硅纳米线阵列的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310452562.5

申请日：

2013-09-27

公开(公告)号：

CN103489753A

公开(公告)日：

2014-01-01

发明(设计)人：

李正操苏诗茗林琳涵冯嘉猷

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区北京市100084-82信箱

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

B82Y4000

代理机构：

北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246

代理人：

陈波

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-04-06	授权	授权
2014-02-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101567140332 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2013104525625 申请日:20130927
2014-01-01	公开	公开

共 50 条

[1]

Si/NiSi核壳结构纳米线阵列的制备方法 [P].

师文生 ;

刘海龙 ;

佘广为 .

中国专利 :CN102127817B ,2011-07-20

[2]

一种易于大面积分离的硅纳米线阵列的制备方法 [P].

李美成 ;

谷田生 ;

黄睿 ;

赵兴 ;

白帆 ;

余航 ;

宋丹丹 ;

李英峰 .

中国专利 :CN103050378B ,2013-04-17

[3]

一种硅纳米线阵列的制备方法 [P].

黄智鹏 ;

朱静 .

中国专利 :CN100491233C ,2007-01-03

[4]

一种场发射性能优良具有尖端结构的硅纳米线阵列的制备方法 [P].

吕沙沙 ;

李正操 .

中国专利 :CN103950889B ,2014-07-30

[5]

一种金属辅助硅纳米线阵列大面积分层刻蚀和转移方法 [P].

揭建胜 ;

王艳 ;

张晓珍 ;

张希威 ;

卞良 ;

吴艺明 .

中国专利 :CN102701138A ,2012-10-03

[6]

制备硅纳米线阵列的方法 [P].

陶斯禄 ;

蒋一岚 ;

周春 .

中国专利 :CN102560493B ,2012-07-11

[7]

Si/Mn27Si47核壳结构纳米线阵列的制备方法 [P].

师文生 ;

刘海龙 ;

佘广为 ;

凌世婷 .

中国专利 :CN102030310A ,2011-04-27

[8]

一种硅纳米线阵列的制备方法 [P].

彭奎庆 ;

李述汤 .

中国专利 :CN101302118A ,2008-11-12

[9]

一种大面积纳米线阵列膜及其制备方法 [P].

方东 ;

索军 ;

焦可心 .

中国专利 :CN114538413A ,2022-05-27

[10]

一种大面积纳米颗粒阵列及其制备方法 [P].

崔洪涛 ;

齐孝文 ;

陈肖洁 ;

刘成岭 ;

方晓龙 ;

谢心怡 ;

苏亚辉 ;

江晖 ;

陈祥富 ;

刘明睿 .

中国专利 :CN119101869A ,2024-12-10

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