一种光束方位和偏振角度共光路检测装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010564303.8

申请日：

2010-11-26

公开(公告)号：

CN102109330A

公开(公告)日：

2011-06-29

发明(设计)人：

杨海马王建宇胡以华贾建军刘瑾强佳张亮吴金才

申请人：

申请人地址：

200083 上海市玉田路500号

IPC主分类号：

G01B1126

IPC分类号：

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

郭英

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-08-10	实质审查的生效	实质审查的生效专利申请号:2010105643038 申请日:20101126 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101096120275 IPC(主分类):G01B 11/26
2011-06-29	公开	公开
2012-11-14	授权	授权

共 50 条

[1]

一种光偏振微小转角的光学干涉检测装置及方法 [P].

房建成 ;

李茹杰 ;

胡朝晖 ;

万双爱 ;

陈瑶 ;

全伟 .

中国专利 :CN103162836B ,2013-06-19

[2]

一种矢量光束偏振分布检测装置和方法 [P].

王潇 ;

司晓云 ;

杨凤 ;

吴曰超 ;

尹建华 .

中国专利 :CN106225928A ,2016-12-14

[3]

一种双光束光镊对射光束共焦对准装置及方法 [P].

全伟 ;

吴健 ;

范文峰 ;

段利红 ;

郑琦 .

中国专利 :CN120221150A ,2025-06-27

[4]

一种光路检测装置 [P].

侯艳 ;

王俊发 ;

黄金侠 ;

李慧玲 ;

孙玉鸿 .

中国专利 :CN202110134U ,2012-01-11

[5]

一种基于平行平晶分偏振光束及相移干涉术的精密晶圆检测方法和装置 [P].

姚勇 ;

宋菲 ;

孙云旭 ;

安宏宇 .

中国专利 :CN101666630A ,2010-03-10

[6]

一种FA光纤阵列角度及光路检测装置 [P].

白鹏 ;

王义双 .

中国专利 :CN218329813U ,2023-01-17

[7]

一种线偏振光旋角检测偏振波动误差在线补偿装置及方法 [P].

房建成 ;

段利红 ;

王卓 ;

全伟 ;

姜丽伟 ;

刘峰 .

中国专利 :CN107063308B ,2017-08-18

[8]

基于偏振光束的自参考准直光路系统及计算被测角度方法 [P].

卢振华 ;

王先华 ;

贾森 .

中国专利 :CN107643055B ,2024-12-10

[9]

基于偏振光束的自参考准直光路系统及计算被测角度方法 [P].

卢振华 ;

王先华 ;

贾森 .

中国专利 :CN107643055A ,2018-01-30

[10]

一种镜片光束转换偏振光效果检测装置 [P].

唐爱国 ;

罗德正 ;

熊运来 .

中国专利 :CN115608649A ,2023-01-17

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