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半导体器件的制作方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201310681725.7
申请日：
2013-12-12
公开(公告)号：
CN104716029A
公开(公告)日：
2015-06-17
发明(设计)人：
蒋莉
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江路18号
IPC主分类号：
H01L2128
IPC分类号：
代理机构：
北京市磐华律师事务所 11336
代理人：
高伟;付伟佳
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-07-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101616806447 IPC(主分类):H01L 21/28 专利申请号:2013106817257 申请日:20131212 |
| 2017-12-05 | 授权 | 授权 |
| 2015-06-17 | 公开 | 公开 |