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一种芯片冲洗用水循环利用装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201922274199.8
申请日：
2019-12-18
公开(公告)号：
CN211394169U
公开(公告)日：
2020-09-01
发明(设计)人：
王小波
王波
田光明
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市新吴区震泽路18号无锡软件园巨蟹座A栋1-102室
IPC主分类号：
C02F910
IPC分类号：
B08B302
B08B1300
C02F10130
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-09-01 | 授权 | 授权 |