共 50 条
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试验装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202080031306.7
申请日：
2020-12-15
公开(公告)号：
CN113748496A
公开(公告)日：
2021-12-03
发明(设计)人：
渡边直良
佐藤茂行
内海良一
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
H01L2166
IPC分类号：
H01L2722
代理机构：
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291
代理人：
黄志华;洪秀川
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-03 | 公开 | 公开 |
| 2021-12-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20201215 |