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大数值孔径激光镜头成像检验系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010827287.0
申请日：
2020-08-17
公开(公告)号：
CN111855159A
公开(公告)日：
2020-10-30
发明(设计)人：
周志凯
刘良清
徐海锋
申请人：
申请人地址：
215201 江苏省苏州市苏州工业园区苏虹西路155号
IPC主分类号：
G01M1102
IPC分类号：
代理机构：
重庆天成卓越专利代理事务所(普通合伙) 50240
代理人：
谭小容
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-10-30 | 公开 | 公开 |
| 2020-11-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 11/02 申请日:20200817 |