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被加工物的切削加工方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201610223718.6
申请日：
2016-04-12
公开(公告)号：
CN106057718A
公开(公告)日：
2016-10-26
发明(设计)人：
深泽隆
小野寺宽
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
李辉;金玲
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-04-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20160412 |
| 2016-10-26 | 公开 | 公开 |
| 2021-12-07 | 授权 | 授权 |