利用硅棒头尾料制备硅片的方法及应用

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专利类型
发明
申请号
CN202011640997.9
申请日
2020-12-31
公开(公告)号
CN112847852A
公开(公告)日
2021-05-28
发明(设计)人
陈涛 季建 岳维维 曹育红
申请人
申请人地址
213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号
IPC主分类号
B28D500
IPC分类号
B28D704 B24B100
代理机构
代理人
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种利用硅棒头尾料制备单晶硅片的方法及应用 [P]. 
陈涛 ;
季建 ;
岳维维 ;
曹育红 .
中国专利 :CN112829094A ,2021-05-25
[2]
单晶硅棒头尾料转运装置 [P]. 
赵韧 ;
李娜 ;
刘超 ;
侯志文 ;
罗欢 .
中国专利 :CN220842648U ,2024-04-26
[3]
硅棒头尾料取料装置及转运系统 [P]. 
李鹏 ;
韩文军 ;
王瑞丰 ;
宝青松 ;
刘杰 ;
辛波波 ;
刘鹏 ;
谢哲 ;
乔江海 .
中国专利 :CN220998881U ,2024-05-24
[4]
一种单晶硅棒头尾料暂存装置 [P]. 
蒋凯 ;
赵文华 ;
卢伟 .
中国专利 :CN222099457U ,2024-12-03
[5]
一种硅棒头尾料回收装置 [P]. 
陈建宝 .
中国专利 :CN205364047U ,2016-07-06
[6]
一种集成电路用单晶硅棒头尾料金属含量精确测量方法 [P]. 
王锡铭 ;
张俊宝 ;
陈猛 .
中国专利 :CN109307705A ,2019-02-05
[7]
单晶硅片的制备方法和应用 [P]. 
孟祥熙 ;
曹育红 ;
陈涛 ;
符黎明 .
中国专利 :CN113382835B ,2021-09-10
[8]
单晶硅片的制备方法和应用 [P]. 
孟祥熙 ;
曹育红 ;
陈涛 ;
符黎明 .
中国专利 :CN109747055A ,2019-05-14
[9]
一种用于截断大尺寸单晶硅棒头尾的装置 [P]. 
盖晶虎 ;
王雅楠 ;
翟顺元 ;
谢辉 ;
秦瑞锋 ;
连庆伟 .
中国专利 :CN112917723B ,2021-06-08
[10]
单晶硅的制备方法及硅片 [P]. 
蔡辉 ;
欧子杨 ;
马建强 ;
陈占仓 ;
向鹏 ;
魏建兴 .
中国专利 :CN120250156A ,2025-07-04