一种氧化镁导电薄膜的制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN201611228138.2
申请日
2016-12-27
公开(公告)号
CN106637106A
公开(公告)日
2017-05-10
发明(设计)人
不公告发明人
申请人
申请人地址
215009 江苏省苏州市高新区美田里路2号5幢113室
IPC主分类号
C23C1434
IPC分类号
C23C1408 C23C1402
代理机构
代理人
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
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