硅纳米线光栅谐振增强型光电探测器及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110124310.0

申请日：

2011-05-13

公开(公告)号：

CN102201483A

公开(公告)日：

2011-09-28

发明(设计)人：

韩伟华陈燕坤李小明张严波杜彦东杨富华

申请人：

申请人地址：

100083 北京市海淀区清华东路甲35号

IPC主分类号：

H01L31105

IPC分类号：

H01L310352 H01L3118 B81C100

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

汤保平

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-11-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101137309881 IPC(主分类):H01L 31/105 专利申请号:2011101243100 申请日:20110513
2012-10-03	授权	授权
2014-07-02	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101583454317 IPC(主分类):H01L 31/105 专利号:ZL2011101243100 申请日:20110513 授权公告日:20121003 终止日期:20130513
2011-09-28	公开	公开

共 50 条

[1]

铂硅纳米线红外探测器及其制作方法 [P].

李华高 ;

熊平 ;

钟四成 .

中国专利 :CN103794673B ,2014-05-14

[2]

硅纳米线／硫化铅／石墨烯复合结构光电探测器及其制备方法 [P].

杨婵 ;

向阳 ;

李沛 ;

柳生祯 ;

缪思丹 ;

冯双龙 .

中国专利 :CN120882107A ,2025-10-31

[3]

一种谐振增强型光电探测器及制作方法 [P].

范鑫烨 ;

毕丽平 ;

房文敬 ;

牛慧娟 ;

白成林 ;

张霞 ;

杨立山 .

中国专利 :CN114823941B ,2024-04-02

[4]

钯硅纳米线室温红外探测器及其制作方法 [P].

李华高 ;

李仁豪 ;

龙飞 ;

钟四成 .

中国专利 :CN104143581A ,2014-11-12

[5]

一种锰硅纳米线红外探测器及其制作方法 [P].

董友强 .

中国专利 :CN105841823A ,2016-08-10

[6]

一种新型谐振增强型光电探测器及制作方法 [P].

范鑫烨 ;

毕丽平 ;

房文敬 ;

牛慧娟 ;

白成林 ;

张霞 ;

杨立山 .

中国专利 :CN114823941A ,2022-07-29

[7]

红外增强型硅基光电探测器 [P].

陈全胜 ;

张明 ;

王涛 ;

贺琪 .

中国专利 :CN112582495B ,2024-04-09

[8]

红外增强型硅基光电探测器 [P].

陈全胜 ;

张明 ;

王涛 ;

贺琪 .

中国专利 :CN112582495A ,2021-03-30

[9]

硅基光电探测器及其制作方法 [P].

盛振 ;

武爱民 ;

仇超 ;

赵瑛璇 ;

高腾 ;

甘甫烷 ;

王曦 .

中国专利 :CN108878544A ,2018-11-23

[10]

黑硅纳米PIN光电探测器结构及其制备方法 [P].

陶科 ;

贾锐 ;

孙恒超 ;

戴小宛 ;

姜帅 ;

周颖 .

中国专利 :CN108321243B ,2018-07-24

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