晶圆搬送机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020899058.5

申请日：

2020-05-25

公开(公告)号：

CN212553077U

公开(公告)日：

2021-02-19

发明(设计)人：

沈艳东

申请人：

申请人地址：

511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号设备间

IPC主分类号：

B24B906

IPC分类号：

B24B4100 B24B4102

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

颜希文;宋亚楠

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-19	授权	授权
2021-08-06	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):B24B 9/06 登记生效日:20210727 变更事项:专利权人变更前权利人:广东长信精密设备有限公司变更后权利人:广东先导稀材股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号设备间变更后权利人:511500 广东省清远市清新区禾云镇工业区(鱼坝公路旁)（一照多址）

共 50 条

[1]

晶圆压紧机构 [P].

陈章水 ;

沈艳东 ;

袁俏芳 ;

黄毅 ;

何飞舍 .

中国专利 :CN212553075U ,2021-02-19

[2]

一种多方向晶圆搬送机构 [P].

陈宏成 ;

沈震 .

中国专利 :CN222015369U ,2024-11-15

[3]

一种晶圆搬送机免换向检测机构 [P].

周魏 ;

王健 ;

王俊 ;

袁学卫 .

中国专利 :CN221407263U ,2024-07-23

[4]

晶圆存取机构 [P].

沈艳东 .

中国专利 :CN212553078U ,2021-02-19

[5]

晶圆定位机构 [P].

陈章水 ;

沈艳东 ;

雷理 ;

黄毅 ;

何飞舍 .

中国专利 :CN211828719U ,2020-10-30

[6]

晶圆输送机构 [P].

崔致元 .

中国专利 :CN222281958U ,2024-12-31

[7]

晶圆输送机构 [P].

凌复华 ;

王丽丹 ;

王燚 ;

国建花 .

中国专利 :CN203351570U ,2013-12-18

[8]

一种晶圆搬送机的晶圆卡匣装置 [P].

李涛 ;

陈曦 ;

王广禄 .

中国专利 :CN206546815U ,2017-10-10

[9]

高速搬送机构 [P].

成卫华 .

中国专利 :CN209940407U ,2020-01-14

[10]

晶圆平坦化设备晶圆传送机构 [P].

谭金辉 ;

徐海强 ;

夏俊东 ;

康雷雷 .

中国专利 :CN210524806U ,2020-05-15

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