使用旋转光学元件的高速高效率光学图案生成器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810169612.8

申请日：

2004-12-21

公开(公告)号：

CN101387750A

公开(公告)日：

2009-03-18

发明(设计)人：

伦纳德·C·迪拜尼迪克蒂斯戴维·C·纳波斯乔治·弗兰基尼斯

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

G02B2608

IPC分类号：

G02B2610

代理机构：

北京市金杜律师事务所

代理人：

王茂华;李辉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-03-18	公开	公开
2009-05-13	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-03-23	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101077080383 IPC(主分类):G02B 26/08 专利申请号:2008101696128 公开日:20090318

共 50 条

[1]

使用旋转光学元件的高速高效率光学图案生成器 [P].

伦纳德·C.·迪拜尼迪克蒂斯 ;

戴维·C.·纳波斯 ;

乔治·弗兰基尼斯 .

中国专利 :CN1902525A ,2007-01-24

[2]

使用旋转光学元件的高速高效率光学图案生成器 [P].

伦纳德·C·迪拜尼迪克蒂斯 ;

戴维·C·纳波斯 ;

乔治·弗兰基尼斯 .

中国专利 :CN101256282A ,2008-09-03

[3]

动态衍射光学图案生成器 [P].

朴海利 ;

拉德瓦努尔·哈桑·斯迪克 ;

王一兵 .

韩国专利 :CN118169898A ,2024-06-11

[4]

使用展像段的光学图案生成器 [P].

L·C·德贝尼迪克蒂斯 ;

D·A·德维 ;

G·弗兰吉尼亚斯 ;

B·G·布鲁梅 .

中国专利 :CN101965579B ,2011-02-02

[5]

图案生成器和用于驱动图案生成器的方法 [P].

M·格利姆托夫特 ;

A·卡拉瓦伊茨克 ;

J·瓦尔特 .

:CN121079636A ,2025-12-05

[6]

一种光学靶标生成器 [P].

史立芳 ;

刘立巍 .

中国专利 :CN220691201U ,2024-03-29

[7]

组合的光学图像生成器与光学成像系统 [P].

S·克吕格尔 ;

J·H·维尔贝恩 ;

P·福斯曼 .

中国专利 :CN113677266B ,2021-11-19

[8]

一种高效率光栅波导光学元件 [P].

李会会 ;

王丙杰 ;

史晓刚 .

中国专利 :CN112965167A ,2021-06-15

[9]

用于光刻系统的图案生成器 [P].

余振华 ;

包天一 ;

吕志伟 ;

许照荣 ;

林世杰 ;

林本坚 .

中国专利 :CN103969963B ,2014-08-06

[10]

包括校准系统的图案生成器 [P].

A.斯文森 ;

F.琼森 .

中国专利 :CN103038707A ,2013-04-10

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