用于回收和再利用减量流出物的过程减量的设备和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201080033998.5

申请日：

2010-07-19

公开(公告)号：

CN102473595A

公开(公告)日：

2012-05-23

发明(设计)人：

安德烈亚斯·纽伯菲尔·钱德勒克利福德·C·斯托丹尼尔·O·克拉克迈克·科菲尔

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L2100

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258

代理人：

柳春雷

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-05-23	公开	公开
2012-09-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101324323353 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2010800339985 申请日:20100719
2015-03-25	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101712902369 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2010800339985 申请公布日:20120523

共 50 条

[1]

有机流出物减量的方法 [P].

瑞安·T·唐尼 ;

约瑟夫·范戈佩尔 ;

詹姆斯·拉赫鲁克斯 .

美国专利 :CN121039784A ,2025-11-28

[2]

从冷冻干燥过程回收流出物的方法和装置及流出物的用途 [P].

爱德华·K·阿尔斯塔特 .

中国专利 :CN1898516A ,2007-01-17

[3]

用于选择性收集过程流出物的方法和设备 [P].

D·C·文彻斯特 ;

M·J·伯斯科 ;

G·W·克雷恩 ;

I·P·韦斯特 ;

R·L·桑姆萨尔 ;

D·P·迪 ;

A·D·约翰森 ;

E·J·小卡瓦基 .

中国专利 :CN102139181B ,2011-08-03

[4]

用于选择性收集过程流出物的方法和设备 [P].

D·C·文彻斯特 ;

M·J·伯斯科 ;

G·W·克雷恩 ;

I·P·韦斯特 ;

R·L·桑姆萨尔 ;

D·P·迪 ;

A·D·约翰森 ;

E·J·小卡瓦基 .

中国专利 :CN104147892B ,2014-11-19

[5]

用于处理液体流出物和回收金属的方法 [P].

萨洛芒·索利尼奥·埃韦林 ;

罗伯托·马蒂奥利·席尔瓦 ;

热拉尔多·路易斯·达席尔瓦 ;

克劳森·德苏扎 .

中国专利 :CN103097558B ,2013-05-08

[6]

用于流出物的净化方法和装置 [P].

M·米克斯 .

中国专利 :CN106255664A ,2016-12-21

[7]

用于处理气态流出物的设备和方法 [P].

E·弗洛科 .

中国专利 :CN113304578A ,2021-08-27

[8]

用于回收氢化裂解的流出物的方法 [P].

唐纳德·A·艾曾加 ;

马西莫·桑加利 ;

理查德·K·赫恩 ;

莎迪特·乌拉斯·阿基戈兹 ;

范忠 .

中国专利 :CN111247231B ,2020-06-05

[9]

氢氯酸和氢氟酸流出物的回收方法 [P].

P.杜福尔 ;

C.勒陶雷克 .

中国专利 :CN103842293A ,2014-06-04

[10]

用于CMP过程控制的在线流出物分析方法和装置 [P].

斯蒂芬·J·贝纳 ;

达里尔·W·彼得斯 .

中国专利 :CN102027573A ,2011-04-20

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