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一种芯片加工清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120163903.7
申请日：
2021-01-21
公开(公告)号：
CN214683222U
公开(公告)日：
2021-11-12
发明(设计)人：
赵远吉
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市宝安区沙井街道后亭社区第二工业区109号301
IPC主分类号：
B08B312
IPC分类号：
B08B314
B08B1300
代理机构：
深圳市鼎智专利代理事务所(普通合伙) 44411
代理人：
黄晓玲
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-12 | 授权 | 授权 |