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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2006-09-20 | 授权 | 授权 |
| 2005-03-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2015-06-24 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101615167154 IPC(主分类):C23C 28/02 专利号:ZL2004100240798 申请日:20040510 授权公告日:20060920 终止日期:20140510 |
| 2005-01-26 | 公开 | 公开 |