蓝宝石衬底减薄工序中的粘片方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200410077355.7
申请日
2004-12-08
公开(公告)号
CN100392810C
公开(公告)日
2006-06-14
发明(设计)人
许其推 李刚 吴启保
申请人
申请人地址
518055广东省深圳市南山区西丽镇龙井方大城
IPC主分类号
H01L2102
IPC分类号
H01L2184 H01L3300 H01S500
代理机构
深圳市顺天达专利商标代理有限公司
代理人
郭伟刚
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
蓝宝石衬底减薄方法 [P]. 
王胜国 ;
许其推 ;
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[2]
一种蓝宝石衬底减薄的方法 [P]. 
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蓝宝石衬底减薄用砂轮齿 [P]. 
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[4]
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[5]
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李威 ;
陈昱 ;
冉隆光 .
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[6]
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[8]
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[9]
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[10]
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