盐酸复合缓蚀剂

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310556200.0
申请日
2013-11-11
公开(公告)号
CN103643237A
公开(公告)日
2014-03-19
发明(设计)人
张明
申请人
申请人地址
266000 山东省青岛市市南区东海西路37号2栋写字楼10层3室02号
IPC主分类号
C23F1104
IPC分类号
C23G106
代理机构
北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316
代理人
滑春生;赵永伟
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
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