一种焦面测量装置及其测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410052179.5

申请日：

2014-02-14

公开(公告)号：

CN104849964A

公开(公告)日：

2015-08-19

发明(设计)人：

张鹏黎徐文王帆

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-08-19	公开	公开
2017-08-25	授权	授权
2017-08-11	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101757044399 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2014100521795 变更事项:申请人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号
2015-09-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101625684081 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2014100521795 申请日:20140214

共 50 条

[1]

透镜后焦测量装置及其测量方法 [P].

刘陈晨 ;

孙笑晨 ;

陈绍卫 ;

崔冬明 ;

任洋明 .

中国专利 :CN111238781B ,2024-12-24

[2]

透镜后焦测量装置及其测量方法 [P].

刘陈晨 ;

孙笑晨 ;

陈绍卫 ;

崔冬明 ;

任洋明 .

中国专利 :CN111238781A ,2020-06-05

[3]

一种油井动液面测量方法及其测量装置 [P].

丛健生 ;

王秀明 ;

陈德华 ;

车承轩 ;

徐德龙 ;

田苗 .

中国专利 :CN102146791A ,2011-08-10

[4]

一种测量装置及其测量方法 [P].

陈如 ;

杨凯敏 ;

江涛 ;

邓正辉 ;

吴华强 .

中国专利 :CN114459362B ,2024-03-26

[5]

一种测量装置及其测量方法 [P].

胡伟频 ;

黄应龙 .

中国专利 :CN108333804B ,2018-07-27

[6]

一种测量装置及其测量方法 [P].

张宜群 ;

倪崇本 ;

秦嘉岷 ;

吴发礼 .

中国专利 :CN106595541A ,2017-04-26

[7]

一种测量装置及其测量方法 [P].

倪崇本 ;

秦嘉岷 ;

毛屹伟 .

中国专利 :CN104764424A ,2015-07-08

[8]

一种测量装置及其测量方法 [P].

陈如 ;

杨凯敏 ;

江涛 ;

邓正辉 ;

吴华强 .

中国专利 :CN114459362A ,2022-05-10

[9]

共焦测量系统及其测量方法 [P].

王建立 ;

杨禹凯 ;

王之一 ;

王廷煜 ;

糜小涛 ;

杨永强 ;

全胜 ;

刘昌华 ;

姚凯男 .

中国专利 :CN115655141A ,2023-01-31

[10]

共焦测量系统及其测量方法 [P].

糜小涛 ;

王之一 ;

王建立 ;

王廷煜 ;

杨永强 ;

杨禹凯 ;

刘昌华 ;

全胜 ;

姚凯男 .

中国专利 :CN115493517A ,2022-12-20

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