用于薄膜沉积的装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480023046.3

申请日：

2014-08-04

公开(公告)号：

CN105473761A

公开(公告)日：

2016-04-06

发明(设计)人：

徐祥准朴华仙郑昊均赵成珉刘址范

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

樊英如;李献忠

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-02-02	授权	授权
2016-05-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101658488068 IPC(主分类):C23C 16/44 专利申请号:2014800230463 申请日:20140804
2016-04-06	公开	公开

共 50 条

[1]

薄膜沉积装置和薄膜沉积方法 [P].

李沅民 ;

杨与胜 ;

张迎春 .

中国专利 :CN101265574A ,2008-09-17

[2]

薄膜沉积装置和用于其的方法 [P].

比约恩·范赫尔文 ;

罗兰·科内利斯·玛丽亚·博希 ;

弗朗西斯库斯·科尔内留斯·丁斯 .

中国专利 :CN102575348B ,2012-07-11

[3]

沉积薄膜的装置和方法 [P].

李朝晖 ;

宋秋明 ;

张军 ;

顾光一 ;

肖旭东 .

中国专利 :CN103008168B ,2013-04-03

[4]

金属膜的薄膜沉积方法和薄膜沉积装置 [P].

池田太郎 ;

水泽宁 ;

波多野达夫 ;

横山敦 ;

佐久间隆 .

中国专利 :CN101213642A ,2008-07-02

[5]

金属膜的薄膜沉积方法和薄膜沉积装置 [P].

池田太郎 ;

水泽宁 ;

波多野达夫 ;

横山敦 ;

佐久间隆 .

中国专利 :CN101914752B ,2010-12-15

[6]

薄膜沉积方法和装置 [P].

朱宝 ;

罗夕琼 ;

沈晓良 ;

尹睿 ;

张卫 .

中国专利 :CN117821940A ,2024-04-05

[7]

薄膜沉积装置和使用该薄膜沉积装置的薄膜沉积方法 [P].

李在哲 .

中国专利 :CN104419892A ,2015-03-18

[8]

薄膜沉积设备和利用其沉积薄膜的方法 [P].

李侑钟 .

中国专利 :CN103572242A ,2014-02-12

[9]

用于沉积扩散薄膜的方法和装置 [P].

裵相烈 ;

崔时荣 ;

郑圣烨 ;

崔正炫 .

中国专利 :CN101868562A ,2010-10-20

[10]

用于薄膜沉积的方法和吸气装置 [P].

A·康特 ;

F·马嘉 ;

M·莫拉加 .

中国专利 :CN1349565A ,2002-05-15

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