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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-03-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101651545361 IPC(主分类):H01L 21/60 专利申请号:2015106833704 申请日:20151020 |
| 2018-02-09 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):H01L 21/60 变更事项:申请人 变更前:天津大学 变更后:天津大学 变更事项:地址 变更前:300072 天津市南开区卫津路92号天津大学 变更后:300350 天津市津南区海河教育园雅观路135号天津大学北洋园校区 |
| 2016-02-24 | 公开 | 公开 |
| 2018-02-09 | 授权 | 授权 |