高灵敏度加速度传感器结构的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910318111.X

申请日：

2019-04-19

公开(公告)号：

CN110040682A

公开(公告)日：

2019-07-23

发明(设计)人：

王家畴李昕欣

申请人：

申请人地址：

200050 上海市长宁区长宁路865号

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

B81B702 G01P1512

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

史治法

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-18	授权	授权
2019-07-23	公开	公开
2019-08-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20190419

共 50 条

[1]

高灵敏度加速度传感器结构的制作方法 [P].

李昕欣 ;

王家畴 .

中国专利 :CN110182753B ,2019-08-30

[2]

高灵敏度FBG加速度传感器 [P].

贾淑红 ;

刘兵 ;

王晓宇 ;

王侃 .

中国专利 :CN202916297U ,2013-05-01

[3]

高灵敏度三轴加速度传感器 [P].

李毅鸿 .

中国专利 :CN215812850U ,2022-02-11

[4]

高灵敏度单轴加速度传感器 [P].

李毅鸿 .

中国专利 :CN216160667U ,2022-04-01

[5]

一种高灵敏度FBG加速度传感器 [P].

贾淑红 ;

王晓宇 ;

刘兵 ;

王侃 .

中国专利 :CN102901840A ,2013-01-30

[6]

高灵敏度MEMS谐振式加速度传感器 [P].

熊兴崟 ;

邹旭东 ;

汪政 ;

李志天 ;

杨伍昊 .

中国专利 :CN111721971B ,2020-09-29

[7]

一种高灵敏度压电加速度传感器 [P].

何仑 .

中国专利 :CN209486129U ,2019-10-11

[8]

一种高灵敏度压电加速度传感器 [P].

何勤 ;

张也弛 ;

李庆丰 ;

冯红亮 ;

房笑淳 .

中国专利 :CN221056481U ,2024-05-31

[9]

一种高灵敏度压电加速度传感器 [P].

袁炜华 ;

侯万民 ;

潘蕾宇 ;

滕春雨 .

中国专利 :CN222299648U ,2025-01-03

[10]

集成自校准结构的高灵敏度加速度传感器及其制备工艺 [P].

刘超然 ;

王艺 ;

董林玺 ;

王高峰 ;

韩晶晶 .

中国专利 :CN119001145A ,2024-11-22

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