一种硅片线痕检测方法及检测装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201610873143.2
申请日
2016-09-30
公开(公告)号
CN106556610A
公开(公告)日
2017-04-05
发明(设计)人
尹昊 郭立 陈勇平
申请人
申请人地址
410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
IPC主分类号
G01N21956
IPC分类号
G01B1100 G01K1300
代理机构
湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008
代理人
周长清;蒋维特
法律状态
发明专利申请公布后的驳回
国省代码
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共 50 条
[1]
一种硅片线痕检测装置及检测方法 [P]. 
郭立 ;
樊坤 ;
尹昊 ;
陈勇平 .
中国专利 :CN106571314A ,2017-04-19
[2]
一种硅片检测装置及检测方法 [P]. 
蒲天 ;
程明 ;
吴正福 .
中国专利 :CN113945517A ,2022-01-18
[3]
硅片检测方法、装置及硅片检测系统 [P]. 
孙立安 ;
徐茂勇 ;
高鹏 .
中国专利 :CN121054507A ,2025-12-02
[4]
一种线束压接端子姿态的检测装置及检测方法 [P]. 
曹策 ;
张立文 ;
姜良旭 ;
付云博 ;
郭同健 .
中国专利 :CN110160493B ,2019-08-23
[5]
一种硅片线痕的检测方法和检测系统 [P]. 
程明 ;
汤志渊 ;
徐虎 .
中国专利 :CN120890998A ,2025-11-04
[6]
一种不同颜色弹簧检测装置及检测方法 [P]. 
张爽 ;
王华 ;
侯岱双 ;
高金刚 ;
赵伟甫 ;
祝国凯 ;
陈儒 ;
郭于龙 ;
吴东旭 ;
杨青山 .
中国专利 :CN110530635B ,2019-12-03
[7]
一种硅片平坦度检测装置及硅片厚度分选系统 [P]. 
王壹帆 ;
张琪 ;
李博 ;
胡碧波 .
中国专利 :CN116967150B ,2024-02-02
[8]
一种应力痕检测方法及应力痕检测装置 [P]. 
廖文操 ;
张腾飞 ;
肖琦 .
中国专利 :CN119164957A ,2024-12-20
[9]
太阳能硅片线痕高精度检测系统 [P]. 
陈利平 ;
惠施 ;
裴世铀 ;
李波 .
中国专利 :CN103323466A ,2013-09-25
[10]
太阳能硅片线痕高精度检测系统 [P]. 
陈利平 ;
惠施 ;
裴世铀 ;
李波 .
中国专利 :CN202494648U ,2012-10-17