高纯度·超微粉SiOx粉及其制造方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN03802109.9
申请日
2003-01-10
公开(公告)号
CN1615271A
公开(公告)日
2005-05-11
发明(设计)人
今村保男 野野垣良三
申请人
申请人地址
日本东京
IPC主分类号
C01B33113
IPC分类号
G02B110 H01L21316 C23C1424,A23L300,H01L3104
代理机构
上海专利商标事务所有限公司
代理人
胡烨
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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[9]
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[10]
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