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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-03 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 28/00 变更事项:专利权人 变更前:广东省新材料研究所 变更后:广东省科学院新材料研究所 变更事项:地址 变更前:510000 广东省广州市天河区长兴路363号 变更后:510000 广东省广州市天河区长兴路363号 |
| 2019-05-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 28/00 申请日:20190107 |
| 2021-03-05 | 授权 | 授权 |
| 2019-04-16 | 公开 | 公开 |