一种真空镀膜用基片水平输送装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201120460791.8
申请日
2011-11-19
公开(公告)号
CN202323010U
公开(公告)日
2012-07-11
发明(设计)人
李险峰 钱宝铎 罗松松
申请人
申请人地址
233010 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号
IPC主分类号
C23C1456
IPC分类号
代理机构
安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113
代理人
杨晋弘
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
一种真空镀膜用基片输送装置 [P]. 
宁德 ;
颜河 ;
栗永利 ;
张哲 ;
林铨振 ;
黄姿琦 ;
郭军坡 ;
王军 ;
吴唯 ;
李伟民 ;
杨春雷 ;
徐晗飞 ;
田涵湫 .
中国专利 :CN221837092U ,2024-10-15
[2]
一种真空镀膜用基片输送装置 [P]. 
应世强 ;
应佳根 .
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[3]
一种真空镀膜用旋转基片架装置及真空镀膜系统 [P]. 
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谢斌斌 ;
刘杰 ;
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[4]
一种真空镀膜基片架装置 [P]. 
陈浩浩 ;
余伟平 ;
唐小非 ;
钟素文 ;
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[5]
玻璃真空镀膜基片架 [P]. 
张少波 ;
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[6]
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[7]
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朱九菊 ;
刘年生 ;
安建昊 ;
唐欢欢 ;
许帮洪 ;
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[8]
一种镀膜基片架及真空镀膜设备 [P]. 
董清世 ;
邵世强 ;
李晓东 ;
韦珂珂 .
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[9]
一种真空镀膜机用传输装置 [P]. 
刘国利 ;
温景成 ;
欧阳杰 ;
李国强 .
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[10]
一种真空镀膜装置 [P]. 
左国军 ;
侯岳明 ;
朱海剑 ;
芦伟 ;
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