管式PECVD石墨舟硅片复位拍舟装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920436266.9

申请日：

2019-04-02

公开(公告)号：

CN209652423U

公开(公告)日：

2019-11-19

发明(设计)人：

邹海军吴家宏张凯胜姚伟忠孙铁囤

申请人：

申请人地址：

213000 江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258

代理人：

朱丽莎

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-19	授权	授权

共 50 条

[1]

管式PECVD镀膜专用石墨舟 [P].

王杨阳 ;

葛怀庆 ;

练菊 ;

孙友巍 ;

孙嵩泉 .

中国专利 :CN215103542U ,2021-12-10

[2]

管式PECVD石墨舟装卸片系统 [P].

李长英 ;

陈光 ;

高玉良 .

中国专利 :CN204243015U ,2015-04-01

[3]

管式PECVD石墨舟安装固定夹具 [P].

邹海军 ;

吴佳俊 ;

吴俊 ;

王少华 .

中国专利 :CN205680668U ,2016-11-09

[4]

管式PECVD镀膜专用石墨舟 [P].

王杨阳 ;

葛怀庆 ;

练菊 ;

孙友巍 ;

孙嵩泉 .

中国专利 :CN113355656A ,2021-09-07

[5]

管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片卸料机构 [P].

李长英 ;

陈光 ;

高玉良 .

中国专利 :CN204243014U ,2015-04-01

[6]

一种双舟管式PECVD石墨舟导电结构 [P].

高鑫 ;

张飞 ;

孙铁囤 .

中国专利 :CN218414511U ,2023-01-31

[7]

石墨舟及具有该石墨舟的管式PECVD设备 [P].

陈曦 ;

张达奇 ;

熊光涌 .

中国专利 :CN209636315U ,2019-11-15

[8]

管式PECVD石墨舟工艺点上料装置 [P].

邹海军 ;

吴佳俊 ;

吴俊 ;

王少华 .

中国专利 :CN205790036U ,2016-12-07

[9]

管式PECVD石墨舟工艺点安装装置 [P].

邹海军 ;

吴佳俊 ;

吴俊 ;

王少华 .

中国专利 :CN205790035U ,2016-12-07

[10]

管式PECVD石墨舟工艺点拆卸装置 [P].

邹海军 ;

吴佳俊 ;

吴俊 ;

王少华 .

中国专利 :CN205856604U ,2017-01-04

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