一种基于智能控制系统的晶圆传送视频监控装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202022011621.3
申请日
2020-09-15
公开(公告)号
CN213236776U
公开(公告)日
2021-05-18
发明(设计)人
黄中山 张建锐
申请人
申请人地址
315100 浙江省宁波市鄞州区云龙镇石桥村
IPC主分类号
F16M1110
IPC分类号
F16M1128 H01L2167 H01L21677 H04N718 H04N5232
代理机构
代理人
法律状态
授权
国省代码
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