一种异形件表面Si掺杂多层DLC涂层的沉积系统及其方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110820232.1

申请日：

2021-07-20

公开(公告)号：

CN113529049A

公开(公告)日：

2021-10-22

发明(设计)人：

张广安魏徐兵曹学乾李东山

申请人：

申请人地址：

730000 甘肃省兰州市城关区天水中路18号

IPC主分类号：

C23C1626

IPC分类号：

C23C16515 C23C1624 C23C1602

代理机构：

兰州中科华西专利代理有限公司 62002

代理人：

曹向东

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/26 申请日:20210720
2021-10-22	公开	公开

共 50 条

[1]

一种管内沉积DLC涂层的工艺方法 [P].

李熙腾 ;

韦金权 .

中国专利 :CN120249924A ,2025-07-04

[2]

一种DLC涂层沉积设备 [P].

刘成斌 ;

黄明章 .

中国专利 :CN212375360U ,2021-01-19

[3]

一种掺杂Cr的DLC涂层的制备方法 [P].

唐坤 ;

王广欣 ;

朱宇杰 ;

孙浩亮 ;

海茵茨罗尔夫斯托克 .

中国专利 :CN110306153A ,2019-10-08

[4]

一种钢件表面防脱落DLC涂层的制备方法 [P].

宋代骄 ;

唐松 ;

焦泽钧 ;

甘勇 ;

李东斌 ;

黎大勇 ;

凌泽远 ;

王弢 .

中国专利 :CN114749356A ,2022-07-15

[5]

一种DLC表面涂层设备 [P].

刘新辉 ;

赵浩 ;

吴凯捷 .

中国专利 :CN207418848U ,2018-05-29

[6]

一种活塞环表面高结合力超厚DLC涂层的超高速沉积方法 [P].

张广安 ;

魏徐兵 ;

尚伦霖 ;

李东山 .

中国专利 :CN113529048A ,2021-10-22

[7]

一种钒/钇共掺杂DLC涂层及其制备方法 [P].

梁献文 ;

苏东艺 ;

黄现章 ;

杜日昇 .

中国专利 :CN113913735B ,2022-01-11

[8]

一种DLC表面涂层设备 [P].

王达 .

中国专利 :CN222469529U ,2025-02-14

[9]

一种橡胶表面沉积DLC涂层的射频耦合磁控溅射装置 [P].

许建平 ;

陈晶 ;

许红 ;

于久灏 ;

王威 ;

王景旭 .

中国专利 :CN214361654U ,2021-10-08

[10]

一种活塞环DLC涂层沉积工艺及涂层沉积设备 [P].

王宗阳 ;

张平山 ;

徐建孙 ;

唐其华 ;

王友愉 ;

杨燃 .

中国专利 :CN118028770A ,2024-05-14

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