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一种射频源及其射频功率反馈设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110879922.4
申请日：
2021-08-02
公开(公告)号：
CN113640746A
公开(公告)日：
2021-11-12
发明(设计)人：
王晓平
刘昆
翟凯
杨皓楠
申请人：
申请人地址：
201802 上海市嘉定区科福路358_368号4幢1层E区J2111室
IPC主分类号：
G01S702
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-12 | 公开 | 公开 |